一、真空泵表面銹蝕原因分析
　　真空泵進料介質含二氧化硫、水，二氧化硫與水結合生成亞硫酸，亞硫酸對金屬有腐蝕作用，為了防止轉子、泵腔腐蝕，在轉子和泵腔表面涂特氟龍圖層。轉子及泵腔出現腐蝕說明圖層破壞，亞硫酸已經腐蝕到泵腔。
　　二、真空泵轉子及泵腔特氟龍圖層破壞原因分析
　　轉子及泵腔表面圖層破壞原因可能有：
　　1、固體顆粒破壞：檢查泵入口設備、管道，沒有發現自由活動固體顆粒如金屬碎片、鐵削等。
　　2、膠質積碳破壞：泵入口管道內壁附著物照片，該物質為深棕褐色，經分析內含鐵元素、碳元素、氧元素等，是丁二烯、環丁砜等聚合物質，該物質粘合在管道內壁上。如果該物質粘合在泵腔和轉子表面易碳化變硬，從而破壞轉子表面圖層。
　　3、工藝因素：真空泵氣相出口壓力為80kpa(A)，是負壓，而泵液相出口為常壓，在正常情況下，導致泵出口液體不能正常進入地下液體罐，而形成回流，從而造成泵出口集聚液體物質，這些液體物質內含亞硫酸，泵出口集聚亞硫酸液對真空泵形成沖擊腐蝕，應該說泵出口液體回流是造成泵轉子及泵腔腐蝕的主要原因。