真空泵回流閥在很短時間內(幾個小時內)逐漸關閉，真空度逐漸下降，直到下降至某一范圍。此時，檢查真空泵的溫度并無異常，開啟備用泵后，2臺泵同時運行時，真空度僅僅提高1%，不能滿足生產需要。停車后檢查發現，真空泵剛停止運行，真空度很快就降了下來，而且真空系統1根液相管道漏液體。原來是真空系統出現了漏點。
　　將真空系統物料處理后，更換了被腐蝕的管道，再開啟真空泵后，真空系統恢復正常。真空泵溫度正常，而且開啟2臺泵時真空度僅僅升高1%，可以排除真空泵故障，這時很有可能是真空系統有漏點。由于真空狀態下漏點不易檢查出來，須停運真空泵，向系統充氣加壓試漏。幸運的是這次漏點在液相部分，若在氣相部分，就須給系統加壓試漏。
　　由于真空系統為腐蝕性的物料，真空系統某一點被腐蝕后，漏點會越來越大，大氣由漏點進入真空系統破壞真空，真空泵負荷越來越高，即真空泵回流閥開度越來越小，直到完全關閉，致使真空度越來越低，影響生產。
　　預防措施:停車時加強試漏，及時發現漏點，并進行治理。