1、真空泵葉片出現磨損，與缸體間摩擦時接觸面不夠大,導致真空度不足。
　　2、真空泵缸體出現磨損，缸體內壁可能出現磨損，導致真空度不足。
　　3、真空泵轉子移位。轉子與端蓋的標準安裝位置發生偏移,導致真空度不足,可找廠家校正。
　　4、真空泵進氣管路及連接處漏氣，真空泵經過長時間使用后，密封墊片老化致使真空泵漏氣，導致真空度不足。
　　5、電機是否正常。電機的轉速不正常抽速將會減慢，從而導致真空度不足。
　　6、真空泵油乳化、碳化、油量不足或油質不對。真空泵在長期使用過程中不經常更換以及人工保養的話，真空泵油將會發生乳化或碳化現象，從而導致真空泵缸體出現磨損，油管堵塞、油過濾器堵塞等-系列問題。
　　7、真空泵油過濾器堵塞或損壞。真空泵油過濾器也稱油霧分離器、油過濾芯、排氣濾芯等叫法，若油霧分離器發生堵塞，被抽進泵體的氣體將不容易排出，此時泵體內內壓過高,抽速降低，真空度下降。
　　8、所抽氣體溫度過高,在進氣管路，上假裝冷卻裝置，降低進氣溫度
　　9、真空泵油溫度太低，在寒冷季節，室內溫度過低影響真空泵油溫度，等泵運轉半小時后,才能正常工作
　　10、真空泵進氣管路連接處橡膠墊圈損壞，更換新的橡膠密封墊圈。因使用時間長，零件磨損，零件之間的間隙變大，從而影響正常工作和真空度，須進行修理更換。
　　11、所抽氣體含有可凝性蒸汽，加用氣鎮裝置或加裝蒸汽捕集裝置
　　12、選用真空計不對，應按照標準選用壓縮式真空計以測得的分壓強為準，或以電真空計測得全壓強作參考。