真空泵是通過機械、物理、化學等多種方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件設備。真空泵的工作原理可以分為氣體捕集泵和氣體傳輸泵兩種類型，真空泵常見抽取真空技術可分為機械法和物理法。
　　1、機械法
　　使用機械法抽真空的也有兩種類型的泵，一種是變容真空泵，一種動量傳輸泵。變容真空泵通過泵的容腔容積的變化完成吸氣和排氣的過程，達到抽氣的目的，分為復式和旋轉式兩種。還有就是動量傳輸泵，通過高速旋轉的葉片或者高速的射流，氣體分子接收到這種動量，這種動量將氣體連續的輸送，包括分子真空泵、水蒸汽噴射泵以及擴散泵等。
　　2、物理法
　　使用物理法進行抽真空的一般是吸附泵、吸氣劑泵以及吸氣劑離子泵。吸附泵通過大面積的吸附劑覆蓋吸附的方式獲取真空，是一種捕集真空裝置；吸氣劑泵則是利用吸氣劑（一般是塊狀或者沉積式新鮮薄膜形式存在）捕獲氣體，進行抽真空；吸氣劑離子泵將氣體電離，再通過電場、磁場的作用達到吸附在材料表面的目的，從而實現抽氣，又分為兩種，一種是蒸發離子泵，被電離的氣體持續或者以間斷的升華從而被吸附，另外一種是濺射離子泵，被電離的離子，被吸附在由陰極持續濺射出來的吸氣材料上，實現吸氣。