淺談真空泵抽取真空的方法
更新時間:2022/07/18 11:22:07 點擊次數:
真空泵是通過機械、物理、化學等多種方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件設備。真空泵的工作原理可以分為氣體捕集泵和氣體傳輸泵兩種類型,真空泵常見抽取真空技術可分為機械法和物理法。
1、機械法
使用機械法抽真空的也有兩種類型的泵,一種是變容真空泵,一種動量傳輸泵。變容真空泵通過泵的容腔容積的變化完成吸氣和排氣的過程,達到抽氣的目的,分為復式和旋轉式兩種。還有就是動量傳輸泵,通過高速旋轉的葉片或者高速的射流,氣體分子接收到這種動量,這種動量將氣體連續的輸送,包括分子真空泵、水蒸汽噴射泵以及擴散泵等。
2、物理法
使用物理法進行抽真空的一般是吸附泵、吸氣劑泵以及吸氣劑離子泵。吸附泵通過大面積的吸附劑覆蓋吸附的方式獲取真空,是一種捕集真空裝置;吸氣劑泵則是利用吸氣劑(一般是塊狀或者沉積式新鮮薄膜形式存在)捕獲氣體,進行抽真空;吸氣劑離子泵將氣體電離,再通過電場、磁場的作用達到吸附在材料表面的目的,從而實現抽氣,又分為兩種,一種是蒸發離子泵,被電離的氣體持續或者以間斷的升華從而被吸附,另外一種是濺射離子泵,被電離的離子,被吸附在由陰極持續濺射出來的吸氣材料上,實現吸氣。
1、機械法
使用機械法抽真空的也有兩種類型的泵,一種是變容真空泵,一種動量傳輸泵。變容真空泵通過泵的容腔容積的變化完成吸氣和排氣的過程,達到抽氣的目的,分為復式和旋轉式兩種。還有就是動量傳輸泵,通過高速旋轉的葉片或者高速的射流,氣體分子接收到這種動量,這種動量將氣體連續的輸送,包括分子真空泵、水蒸汽噴射泵以及擴散泵等。
2、物理法
使用物理法進行抽真空的一般是吸附泵、吸氣劑泵以及吸氣劑離子泵。吸附泵通過大面積的吸附劑覆蓋吸附的方式獲取真空,是一種捕集真空裝置;吸氣劑泵則是利用吸氣劑(一般是塊狀或者沉積式新鮮薄膜形式存在)捕獲氣體,進行抽真空;吸氣劑離子泵將氣體電離,再通過電場、磁場的作用達到吸附在材料表面的目的,從而實現抽氣,又分為兩種,一種是蒸發離子泵,被電離的氣體持續或者以間斷的升華從而被吸附,另外一種是濺射離子泵,被電離的離子,被吸附在由陰極持續濺射出來的吸氣材料上,實現吸氣。